[发明专利]一种多功能自动四探针测试仪有效
| 申请号： | 201310408946.7 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN103472303A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 王强;花国然;邓洁;胡传志;程实 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R1/073 |
| 代理公司： | 南京同泽专利事务所(特殊普通合伙) 32245 | 代理人： | 石敏 |
| 地址： | 226019 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种多功能自动四探针测试仪，包括：真空吸片承片台、四探针组件、三轴驱动机构、摄像头及主控计算机，四探针组件安装于三轴驱动机构，摄像头的拍摄方向正对真空吸片承片台，摄像头和四探针组件的信号输出端与主控计算机的信号输入端连接，三轴驱动机构的控制信号输入端与主控计算机的控制信号输出端连接。本发明吸片式承片台可以固定破碎的硅片样品，使本发明测试仪具有固定样品的作用，避免在测试过程中的样品移动；摄像头用于拍摄硅片的位置及形状，可通过图像进行定位，实现设备的碎片处理功能；通过对四探针三维驱动机构的控制，可以使得四探针探头在承片台上移动定位，并通过Z轴下压驱动机构实现探针头的自动下压，实现自动测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 自动 探针 测试仪 | ||
【主权项】：
一种多功能自动四探针测试仪，其特征在于包括：真空吸片台、四探针组件、驱动四探针探头进行二维移动和下压的三轴驱动机构；摄像头及主控计算机，所述四探针组件安装于三轴驱动机构，所述摄像头的拍摄方向正对真空吸片台，所述四探针组件位于真空吸片台的上方，所述摄像头和四探针组件的信号输出端与主控计算机的信号输入端连接，所述三轴驱动机构的控制信号输入端与主控计算机的控制信号输出端连接。
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