[发明专利]一种基板处理装置有效
| 申请号： | 201310409697.3 | 申请日： | 2013-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN103449711A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 申屠江民;张平;胡雪龙;黄旭辉;卢凤卫;王磊 | 申请（专利权）人： | 浙江金徕镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C03B27/00 | 分类号： | C03B27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321017 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及平板显示技术领域，尤其涉及一种基板处理装置。其至少包括具有一第一收容空间的本体、风循环系统和用于固定基板的固定模块，所述固定模块可与所述本体分离地收容于所述本体的第一收容空间内，所述风循环系统设置于所述本体内，所述固定模块至少包括一第二顶部，所述第二顶部上设置有多个便于风通过的第一通孔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，至少包括具有一第一收容空间的本体、风循环系统和用于固定基板的固定模块，所述固定模块可与所述本体分离地收容于所述本体的第一收容空间内，所述风循环系统设置于所述本体内，所述固定模块至少包括一第二顶部，所述第二顶部上设置有多个便于风通过的第一通孔。
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