[发明专利]一种沉积与尾气处理一体化设备无效
| 申请号： | 201310412182.9 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN103726029A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈照峰;刘勇 | 申请（专利权）人： | 太仓派欧技术咨询服务有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/448 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种沉积与尾气处理一体化设备，包括位于设备下部，用于进行化学气相沉积的中温热解炉以及位于设备上部，对残余尾气进行热解并同时防止热解产物冷凝的高温解热炉，高温解热炉与真空系统相连通，中温热解炉和高温热解炉为一体化结构，沉积时中温热解炉与高温解热炉气压均在1000Pa以下；中温热解的残余尾气直接进入高温热解区进行二次分解，炉体内温度梯度过度，不会导致中温热解产物在两个炉中间转移过程冷凝。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 尾气 处理 一体化 设备 | ||
【主权项】：
一种沉积与尾气处理一体化设备，其特征在于包括位于设备下部，用于进行化学气相沉积的中温热解炉以及位于设备上部，对残余尾气进行热解并同时防止热解产物冷凝的高温解热炉，高温解热炉与真空系统相连通，中温热解炉和高温热解炉为一体化结构。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
