[发明专利]一种带有相位调制功能的激光反馈干涉集成微位移测量系统无效
| 申请号： | 201310412502.0 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN103486972A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 刘惠兰;孟照魁;冯丽爽;唐依创;王维 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人： | 赵文颖 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有相位调制功能的激光反馈干涉集成微位移测量系统，包括四种方案，由于本发明采用激光反馈干涉技术，干涉光路只有一条，所以避免了传统干涉结构普遍存在的结构庞大，光路复杂等问题，并且光路调整方便；本发明系统中集成相位调制器，可实现各种调制解调方案，提高测量分辨率和灵敏度；本发明系统集成一体，体积小，避免了各器件之间的光纤连接，抗干扰能力强；本发明还可用于进行微振动的测量等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 相位 调制 功能 激光 反馈 干涉 集成 位移 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种带有相位调制功能的激光反馈干涉集成微位移测量系统，包括光电二极管、激光二极管、相位调制器、耦合小块、光纤、光纤准直器； 相位调制器包括波导和电极，电极位于波导两侧； 耦合小块中开槽嵌入光纤，光纤的另一端连接光纤准直器； 激光二极管的一端连接波导，波导的另外一端端面与耦合小块的端面粘接，利用耦合小块的端面和波导端面粘接实现波导与光纤的耦合通光； 光电二极管位于激光二极管的另一端。
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