[发明专利]高致密度AZO靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201310412739.9 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN104418592A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 王铁军;张凤戈;唐培新;高明;张路长;姚惠龙;缪磊;王江廷;孙右文 | 申请（专利权）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/10 | 分类号： | C04B35/10;C04B35/453;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;张向琨 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高致密度AZO靶材及其制备方法。该方法包括以下步骤：混料步骤：向原料氧化锌和氧化铝粉末中加入粘结剂、分散剂和水，混合均匀，得到均匀浆料，然后将所述浆料进行干燥，得到成分均匀的干燥粉末；成型步骤：将所述干燥粉末装入规定尺寸的模具中进行冷等静压成型；脱胶及除气步骤：将所述成型步骤得到的成型料坯装入对应尺寸的包套内，进行脱胶及除气处理；热等静压步骤：将脱胶及除气完毕的料坯的包套封焊后进行热等静压处理；机加工步骤：去除包套后将料坯加工到所需尺寸，获得最终的靶材成品。采用该方法得到的AZO靶材的相对密度不低于理论密度的99%，密度均匀，平均晶粒尺寸不大于30μm，无气孔和疏松。 | ||
| 搜索关键词： | 致密 azo 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高致密度AZO靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：混料步骤：向原料氧化锌和氧化铝粉末中加入粘结剂、分散剂和水，混合均匀，得到均匀浆料，然后将所述浆料进行干燥，得到成分均匀的干燥粉末；成型步骤：将所述干燥粉末装入规定尺寸的模具中进行冷等静压成型；脱胶及除气步骤：将所述成型步骤得到的成型料坯装入对应尺寸的包套内，进行脱胶及除气处理；热等静压步骤：将脱胶及除气完毕的料坯的包套封焊后进行热等静压处理；机加工步骤：去除包套后将料坯加工到所需尺寸，获得最终的靶材成品。
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