[发明专利]一种硅片切割液及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201310412882.8 申请日: 2013-09-11
公开(公告)号: CN103468346A 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 王欣;周凯鸣;蔺雷亭;刘宏华 申请(专利权)人: 高佳太阳能股份有限公司
主分类号: C10M133/16 分类号: C10M133/16
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 214174 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种硅片切割液及其制备方法。所述硅片切割液主要由PEG、表面活性剂、润滑剂、渗透剂和鳌合剂组成,所述硅片切割液中还含有甲酰胺溶液。所述方法向硅片切割液中加入所述甲酰胺溶液,进行搅拌后密封储藏。本发明在硅片切割液中加入一定比例的甲酰胺溶液,可以有效降低切割液在存储过程中的pH下降的影响,保证PEG的化学性能稳定、均一,为切割过程提供保障。
搜索关键词: 一种 硅片 切割 及其 制备 方法
【主权项】:
一种硅片切割液,所述硅片切割液主要由PEG、表面活性剂、润滑剂、渗透剂和鳌合剂组成,其特征在于,所述硅片切割液中还含有甲酰胺溶液。
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