[发明专利]形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序

摘要

本发明提供了形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序，其均能够在测量对象的形状测量之前，容易地将测量对象的姿态调节至适于形状测量的状态。在进行形状测量之前，光投射单元利用具有用于姿态检查的图案的光来照射测量对象。该状态下在显示部上显示被光接收单元捕获的测量对象的图像。当光投射单元用具有用于姿态检查的图案的光照射测量对象时，调节测量对象的姿态。

主权项

一种形状测量装置，包括：载物台，其上安装测量对象；光投射单元，其被构造为利用具有用于检查所述测量对象的姿态的第一图案的第一光从斜上方照射安装在所述载物台上的所述测量对象，并且利用具有用于测量所述测量对象的形状的第二图案的第二光从斜上方照射安装在所述载物台上的所述测量对象，所述第二图案与所述第一图案不同；光接收单元，其被布置在所述载物台的上方，并且被构造为接收被安装在所述载物台上的所述测量对象反射的光，并输出表示光接收量的光接收信号，并且被构造为对安装在所述载物台上的所述测量对象进行成像；数据生成单元，其被构造为基于所述光接收单元输出的所述光接收信号，通过三角测距法来生成表示所述测量对象的立体形状的立体形状数据；显示部，其被构造为显示被所述光接收单元捕获的所述测量对象的图像；控制部，其用于在进行形状测量之前，控制所述光投射单元用所述第一光照射所述测量对象并且控制所述显示部显示所述光接收单元捕获的所述测量对象的图像，以及在进行形状测量时，控制所述光投射单元用所述第二光照射所述测量对象并且控制所述数据生成单元生成所述立体形状数据；以及姿态调节单元，其可操作用于在利用所述光投射单元以所述第一光照射所述测量对象时来调节所述测量对象的姿态。