[发明专利]一种改善48所M42300-1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的夹板无效
| 申请号： | 201310415569.X | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104465289A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 曾虎 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善48所M42300-1／UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的夹板，涉及48所M42300-1／UM型等离子体刻蚀机，属于太阳能电池制造领域。该夹板采用了一种“回”字形结构，铝合金材质。说明书对该夹板进行了详细的说明，并给出了具体的实用方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 48 m42300 um 等离子体 刻蚀 效果 夹板 | ||
【主权项】：
一种改善48所M42300‑1／UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的夹板，包括：材质、结构、用途及工作特性。
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