[发明专利]一种磁传感装置及该磁传感装置的制备工艺在审
| 申请号： | 201310415659.9 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104459575A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 杨鹤俊;张挺 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09;H01L43/12 |
| 代理公司： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人： | 王松 |
| 地址： | 201815 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种磁传感装置及该磁传感装置的制备工艺，所述装置包括第三方向磁传感部件，第三方向磁传感部件包括基底、导磁单元、感应单元。导磁单元包括第一导磁单元、第二导磁单元，第一导磁单元的主体部分设置于基底表面开设的沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面；第二导磁单元的主要部分设置于沟槽内，第二导磁单元与第一导磁单元之间设有第一介质材料；导磁单元用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元设置于所述基底表面上，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向的第三方向磁场。本发明可提高磁传感装置的感应能力及灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感 装置 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括第三方向磁传感部件，所述第三方向磁传感部件包括：基底，其表面开有沟槽；导磁单元，包括第一导磁单元、第二导磁单元，所述第一导磁单元的主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面；所述第二导磁单元的主要部分设置于沟槽内，第二导磁单元与第一导磁单元之间设有第一介质材料；所述导磁单元用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元，设置于所述基底表面上，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直。
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