[发明专利]MEMS三维静动态测试系统无效
| 申请号： | 201310418413.7 | 申请日： | 2013-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN104457561A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王颖;詹旭涛 | 申请（专利权）人： | 王颖 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G01B11/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳市浑*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | MEMS三维静动态测试系统属于测试系统领域，尤其是涉及一种MEMS三维静动态测试系统的改进。本发明提供一种测试过程具有高速可视化非接触性特点的MEMS三维静动态测试系统。本发明包括显示干涉仪、显微视觉模块、频闪照明模块、PZT驱动器、PZT相移器、多功能数据卡、信号放大器、图像采集模块，其结构要点是：显示干涉仪、显微视觉模块、频闪照明模块、PZT驱动器、PZT相移器、多功能数据卡、信号放大器、图像采集模块依次相连。 | ||
| 搜索关键词： | mems 三维 动态 测试 系统 | ||
【主权项】：
MEMS三维静动态测试系统包括显示干涉仪、显微视觉模块、频闪照明模块、PZT驱动器、PZT相移器、多功能数据卡、信号放大器、图像采集模块，其特征在于显示干涉仪、显微视觉模块、频闪照明模块、PZT驱动器、PZT相移器、多功能数据卡、信号放大器、图像采集模块依次相连。
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