[发明专利]基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置。装置包括白光干涉仪和两个双频激光回馈位移测量系统，并且两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪为连动结构，将两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪结合为一体式结构进行移动扫描。检测方法为：标定白光干涉仪，得到光程差与条纹偏移量的比例系数；获取待测光学玻璃引入的光程差变化量，并使用位移测量系统测得待测光学玻璃同一被测位置的厚度偏差；根据白光干涉仪获得的光程差和位移测量系统获得的厚度偏差，确定待测光学玻璃的折射率偏差；扫描整个待测光学玻璃，完成待测光学玻璃的均匀性检测。本发明对光学玻璃均匀性检测的精度高、成本低，且测试过程简单方便。

主权项

一种基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法，其特征在于：使用白光干涉仪测量待测光学玻璃引入的光程差变化量，并采用双频激光回馈位移测量系统测量待测光学玻璃的厚度偏差，结合这两个测量数据检测待测光学玻璃的均匀性，具体步骤如下：步骤1、标定白光干涉仪：使用单色LED和两片相同的补偿镜对白光干涉仪进行标定，得到光程差与条纹偏移量的比例系数C，将单色LED换成白光光源，将中心条纹调节到刻度零位x0；步骤2、获取待测光学玻璃引入的光程差变化量：将白光干涉仪测试光路中的补偿镜替换为待测光学玻璃后，根据白光干涉仪中心条纹的偏移量Δx得到待测光学玻璃被测位置引入的光程差Λ，并使用双频激光回馈位移测量系统测得待测光学玻璃同一被测位置的厚度偏差Δd；步骤3、确定待测光学玻璃被测位置的折射率偏差：通过同一被测位置白光干涉仪获得的光程差Λ和位移测量系统获得的厚度偏差Δd，确定待测光学玻璃该被测位置的折射率偏差Δne；步骤4、改变待测光学玻璃的被测位置，重复步骤2～3，直至扫描整个待测光学玻璃，完成待测光学玻璃的均匀性检测。