[发明专利]软X射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法

摘要

软X射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法涉及复合型望远镜领域，该方法包括如下步骤：步骤一：使用ZYGO干涉仪调试掠入射光学系统，确定掠入射光学系统的光轴和焦面的位置；步骤二：对正入射光学系统进行调试，确定正入射光学系统的光轴和焦面的位置；步骤三：将掠入射光学系统和正入射光学系统组装在一起，将两光学系统的光轴和焦面调到误差允许的范围内。该方法通过以掠入射光学系统和正入射光学系统共轴和共焦面为手段，实现软X射线与极紫外复合型望远镜使用同一个探测器对两个波段图像的探测。

主权项

软X射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：设定ZYGO干涉仪发出平行光的中心光线为系统的光轴，在掠入射系统焦面出放置一个接受屏，通过接受屏上焦点的中心位置，调整掠入射系统的光轴与系统光轴重合，确定掠入射系统的光轴的位置；通过使用ZYGO干涉仪发出的平行光经过掠入射系统，经由标准反射镜反射与参考光得到干涉图像，通过图像调整标准反射镜的位置，确定掠入射光学系统的焦面的位置；步骤二：ZYGO干涉仪发出的球面波经过正入射光学系统的主镜反射后原路返回，与参考光进行干涉产生干涉图像，通过干涉图像判断主镜的倾角，调整主镜的倾角，使主镜的光轴与系统光轴重合；根据设计参数安装次镜并对次镜粗调，通过使用ZYGO干涉仪发出的平行光经过正入射系统，经由标准反射镜反射与参考光得到的干涉图像，通过干涉图的变化，判断产生失调的误差来源，并且通过调整主镜和次镜间距、次镜的离心和倾角，获得最佳干涉条纹，通过调整标准反射镜的位置，确定正入射光学系统的焦面的位置；步骤三：将掠入射光学系统和正入射光学系统组装在一起，将两光学系统的光轴和焦面调到误差允许的范围内。