[发明专利]一种基于磷酸盐分子筛的湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201310421258.4 | 申请日： | 2013-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN103439368A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 阮圣平;张敏;张宇鹏;周敬然;郭文滨;温善鹏;张莹;沈亮;张歆东;董玮;刘彩霞 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;C04B41/90 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 张景林;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种基于磷酸盐分子筛的湿度传感器及其制备方法，属于湿度传感器技术领域。采用AlPO4-5分子筛作为敏感层，不但应用了其良好的稳定性，还可以有效地利用AlPO4-5分子筛具有较高比表面积的优势。同时本发明采用的工艺简单、制得的器件体积小、适于大批量生产，因而具有重要的应用价值。本发明所述的AlPO4-5分子筛的快速响应恢复湿度传感器，从下至上依次由陶瓷衬底、在陶瓷衬底上采用丝网印刷技术制备的Au金属叉指电极、在叉指电极上采用涂覆技术制备的AlPO4-5敏感层组成；其中AlPO4-5敏感层的厚度为2～4μm，粒径为6～10μm，金属叉指电极的宽度和间距均为0.15～0.20mm，厚度为100～150nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磷酸盐 分子筛 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于AlPO4‑5分子筛的湿度传感器，其特征在于：从下至上依次由陶瓷材料衬底（1）、Au金属叉指电极（2）和AlPO4‑5分子筛敏感层（3）组成。
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