[发明专利]外观检查设备、外观检查方法以及程序有效
申请号: | 201310421768.1 | 申请日: | 2013-09-16 |
公开(公告)号: | CN103674961B | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 生岛靖久 | 申请(专利权)人: | 株式会社其恩斯 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 陈源;李铭 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了外观检查设备、外观检查方法以及程序。通过参考针对将由外观检查设备使用的多个测量工具中的特定测量工具而被设置为另一测量工具的测量区域的测量区域,来降低用户的负担。针对通过对无缺陷产品进行成像而获取的基础图像,设置作为诸如连接器尺寸检查工具之类的第一测量工具的测量参考的参考点或搜索区域。接下来,用户选择执行与第一测量工具分离的测量的诸如面积测量工具之类的第二测量工具。对于作为将被第二测量工具测量的区域的测量区域的坐标数据,在必要时调节并参考针对第一测量工具设置的参考点或搜索区域的坐标数据。 | ||
搜索关键词: | 外观 检查 设备 方法 以及 程序 | ||
【主权项】:
1.一种外观检查设备,包括:基础图像存储部分,其存储通过对具有在特定方向上排列的多个特征部分的检查对象进行成像而得到的基础图像;位置检测区域设置部分,其对所述基础图像设置搜索区域以检测所述检查对象的所述多个特征部分的位置,所述搜索区域还用于搜索与在所述搜索区域内检测到的所述特征部分的位置相关联的并且作为位置检测的参考的检测点;测量工具选择部分,其从用于执行不同测量的多个测量工具中选择测量工具以测量所述检查对象;测量区域设置部分,其基于所述搜索区域或所述检测点来设置多个测量区域,其中每个测量区域均是将利用所述测量工具选择部分所选择的测量工具进行测量的区域;测量区域调节部分,其调节由所述测量区域设置部分设置的多个测量区域之一的位置,并且以相同的调节量调节由所述测量区域设置部分设置的多个测量区域中的其他区域的位置;显示部分,其将所述基础图像连同所述测量区域调节部分所调节的测量区域一起进行显示;以及质量确定部分,其根据所述测量区域调节部分所调节的测量区域来执行测量,并且根据测量结果来确定所述检查对象是良好的还是有缺陷的。
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