[发明专利]用于扫描显微环境的单轴双向微力学测量装置及测量方法

摘要

本发明属于微纳米力学及精密机械领域，特别涉及一种用于扫描显微环境的单轴双向微力学测量装置及测量方法。该装置在主体支撑单元上安装对称的坐标式三维粗调平移台、对称的细调三维移动精密平台及试样平台，通过控制系统及操纵单元控制操作，能够完成微纳米特征尺度材料和结构力学性能的检测，实现单向对中拉伸、压缩、弯曲和振动测量，以及微纳米尺度试样表面变形及微结构演化检测；装置可以多次使用，并可结合数字图像/散斑相关技术、图像处理技术或微标记技术实现高空间分辨扫描显微环境下的试样的原位变形和力学性能检测。

主权项

用于扫描显微环境的单轴双向微力学测量装置，其特征在于：整体支撑单元（13）安装在SEM样品台基座（14）上，其上表面中心位置设置圆孔，在孔内安装可拉伸的SEM样品台（15），两侧对称位置分别设置三维坐标平移台和整体支撑单元连接基板（11）；每个三维坐标平移台和整体支撑单元连接基板（11）分别安装由X方向平移压电导轨（1）、Y方向平移压电导轨（2）、Z方向平移压电导轨（3）组成的坐标式三维粗调平移台；Z方向平移压电导轨（3）的上端与粗调平台连接臂（4）固接，粗调平台连接臂（4）通过压电套管（5）与细调压电陶瓷三维移动平台（6）连接；细调压电陶瓷三维移动平台（6）的前端通过传感器与细调平移台连接套管（7）与传感器（8）连接，传感器（8）的前端与试样平台（9）固接。