[发明专利]具有纳米级分辨率的超精密定位工作台无效
| 申请号： | 201310423958.7 | 申请日： | 2013-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN104440141A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李志刚 | 申请（专利权）人： | 李志刚 |
| 主分类号： | B23Q1/34 | 分类号： | B23Q1/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 具有纳米级分辨率的超精密定位工作台是涉及一种定位工作台，尤其是涉及一种纳米级分辨率的超精密定位工作台。本发明提供一种运动精度、定位精度可达到亚微米甚至纳米量级的具有纳米级分辨率的超精密定位工作台。本发明主体由柔性铰链工作台和压电陶瓷微位移器组成，其结构要点是：采用双频激光干涉仪SJD5检测，由计算机和相位计共同组成闭环控制系统；通过计算机给出数字信号，经D/A转换并放大，产生0～1000V、步长为1V的可变电压，驱动压电陶瓷伸缩，然后再由压电陶瓷带动柔性铰链工作台作微位移。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 纳米 分辨率 精密 定位 工作台 | ||
【主权项】：
具有纳米级分辨率的超精密定位工作台，本发明主体由柔性铰链工作台和压电陶瓷微位移器组成，其结构要点是：采用双频激光干涉仪SJD5检测，由计算机和相位计共同组成闭环控制系统；通过计算机给出数字信号，经D/A转换并放大，产生0～1000V、步长为1V的可变电压，驱动压电陶瓷伸缩，然后再由压电陶瓷带动柔性铰链工作台作微位移。
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