[发明专利]InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法有效
| 申请号： | 201310424535.7 | 申请日： | 2013-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN103487883A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 吕倩倩;韩勤;崔荣;李彬;尹伟红;杨晓红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法，所述InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器，包括：一衬底；一下包层，其制作在衬底的中间部位，其形状为铲子形，一端为铲子的头部，另一端为柄部；铲形头部的前半部分为矩形结构，后半部分的宽度逐渐减小并对接到柄部；一芯层，其制作在下包层的上面，其形状与下包层一致；一上包层，其制作在芯层柄部的上面及铲子头部的后半部分，且其形状为条状结构。本发明可以解决边入射器件中与光纤耦合效率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | inp 无源 波导 光纤 光斑 转换 耦合器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器，包括：一衬底；一下包层，其制作在衬底的中间部位，其形状为铲子形，一端为铲子的头部，另一端为柄部；铲形头部的前半部分为矩形结构，后半部分的宽度逐渐减小并对接到柄部；一芯层，其制作在下包层的上面，其形状与下包层一致；一上包层，其制作在芯层柄部的上面及铲子头部的后半部分，且其形状为条状结构。
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