[发明专利]对准装置及方法

摘要

本发明公开一种对准装置及方法，装置包括：光源，提供照明光束，投射到对准标记上；对称设置的半反射面，用于反射和透射对准标记产生的各级次衍射光，使一部分衍射光发生偏转，偏转后传播方向与另一部分对应级次衍射光的传播方向相同或平行；汇聚透镜，将上述各级次衍射光干涉成像到其焦面；探测模块，探测各级次干涉图像的信号；运动台，实现对对准标记的扫描测量；控制模块，用于同步控制运动台和探测模块，并根据测得信号强度随运动台位置变化的关系计算对准位置。本发明通过对称设置的半反射面结构代替现有技术中的楔块阵列，降低了系统加工制造和装调的难度，消除了由楔块阵列加工制造误差引起的正负级次干涉条纹图像不一致和倍率差的问题。

主权项

一种对准装置，包括：光源，提供照明光束，投射到对准标记上；对称设置的半反射面，用于反射和透射所述对准标记产生的各级次衍射光，使一部分衍射光发生偏转，偏转后的传播方向与另一部分的对应级次衍射光的传播方向相同或平行；汇聚透镜，将上述经过所述半反射面的各级次衍射光干涉成像到其焦面；探测模块，探测各级次干涉图像的信号；运动台，用于承载对准标记，实现对对准标记的扫描测量；以及控制模块，用于同步控制运动台和探测模块，并根据测得信号强度随运动台位置变化的关系计算对准位置。