[发明专利]基板清洗装置及其工作方法、基板清洗系统有效
| 申请号： | 201310429781.1 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103480622A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板清洗装置及其工作方法、基板清洗系统，涉及液晶显示技术领域，能够对涂过胶的、滴过液晶的基板进行清洗，从而回收再利用。本发明公开的基板清洗装置，包括液体加压罐和气体加压罐，所述液体加压罐和所述气体加压罐均通过管道与泵连通以泵出气液混合物，所述泵连接有喷头；所述液体加压罐出口设置有液体控制阀，所述气体加压罐出口设置有气体控制阀，所述液体控制阀和所述气体控制阀均电连接至控制器；所述控制器用于控制所述液体控制阀从完全打开逐渐变化到完全关闭，同时，控制所述气体控制阀从完全关闭逐渐变化到完全打开，以使所述气液混合物中的气液比例动态变化。本发明适用于液晶面板制作过程中。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 及其 工作 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种基板清洗装置，其特征在于，包括液体加压罐和气体加压罐，所述液体加压罐和所述气体加压罐均通过管道与泵连通以泵出气液混合物，所述泵连接有喷头；所述液体加压罐出口设置有液体控制阀，所述气体加压罐出口设置有气体控制阀，所述液体控制阀和所述气体控制阀均电连接至控制器；所述控制器用于控制所述液体控制阀从完全打开逐渐变化到完全关闭，同时，控制所述气体控制阀从完全关闭逐渐变化到完全打开，以使所述气液混合物中的气液比例动态变化。
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