[发明专利]一种镀膜机无效
| 申请号： | 201310433895.3 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104451589A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 赵立平 | 申请（专利权）人： | 赵立平 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266034 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，所述镀膜伞中心位置处设有传感器，所述传感器与精密膜厚控制仪相连，本发明所公开的镀膜机能够实现膜厚的高精度控制，确保膜厚的控制性能可靠稳定，而且能够控制很薄的膜层，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
【主权项】：
一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，其特征在于，所述镀膜伞中心位置处设有传感器，所述传感器与精密膜厚控制仪相连。
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