[发明专利]一种卧式多弧镀膜室有效
| 申请号： | 201310434787.8 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN103469158A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 关秉羽 | 申请（专利权）人： | 辽宁北宇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 铁岭天工专利商标事务所 21105 | 代理人： | 靳万清 |
| 地址： | 112000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体，镀膜室罐体具有外壁、中间冷却套层和内壁，镀膜室罐体的上、下部壁上均布装有弧源安装孔，镀膜室罐体底部具有安装支架，弧源安装孔包括与所述镀膜室罐体外壁相连的安装外壁、与所述镀膜室罐体内壁相连的安装内壁及与所述镀膜室罐体中间冷却套层相连通的安装套层，所述安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内。上述结构的卧式多弧镀膜室，由于弧源安装孔的安装内壁伸出所述镀膜室罐体内壁且伸入到镀膜室罐体内，因此在镀膜过程中镀膜室罐体内的粉尘溅落下来后受到伸长的安装内壁的阻挡不会溅落到弧源头中，不会造成弧源头内金属块和屏蔽罩之间的短路，从而不会影响镀膜室的正常镀膜作业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 镀膜 | ||
【主权项】：
一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体（1），镀膜室罐体（1）具有外壁（2）、中间冷却套层（3）和内壁（4），镀膜室罐体（1）的上、下部壁上均布装有弧源安装孔（5、6），镀膜室罐体（1）底部具有安装支架（10），弧源安装孔（5、6）包括与所述镀膜室罐体（1）外壁（2）相连的安装外壁（7）、与所述镀膜室罐体（1）内壁（4）相连的安装内壁（9）及与所述镀膜室罐体（1）中间冷却套层（3）相连通的安装套层（8），其特征在于：所述安装内壁（9）伸出所述镀膜室罐体（1）内壁（4）且伸入到镀膜室罐体（1）内。
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