[发明专利]一种新型多晶铸锭用石英陶瓷坩埚的制备工艺无效
| 申请号： | 201310441193.X | 申请日： | 2013-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN103508661A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 颜颉颃;崔鹏;张华利;高源;石宗杰;张欣 | 申请（专利权）人： | 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 222300 江苏省连云港市东*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型多晶铸锭用石英陶瓷坩埚的制备工艺，包括以下步骤：（1）按照常规工艺制作石英陶瓷裸埚，将石英陶瓷裸埚置于加热器上进行加热；（2）将氢氧化钡粉末溶解于纯水或无水乙醇中，加热使其完全融化制得氢氧化钡溶液；（3）当石英陶瓷裸埚被加热至50-60℃时，将制备好的氢氧化钡溶液均匀的喷涂于石英陶瓷裸埚内底部和四壁，喷涂完后得到具有氢氧化钡涂层的石英陶瓷坩埚；（4）配置氮化硅悬浮液；（5）将配置好的氮化硅悬浮液均匀的喷涂在具有氢氧化钡涂层的石英陶瓷坩埚内底部和四壁即得。采用本发明工艺制备的石英陶瓷坩埚可有效减少石英陶瓷坩埚内杂质元素向硅锭内部扩散，提高硅锭少子寿命，减少硅片制成电池片后EL检测黑边比例，提高其光电转化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 多晶 铸锭 石英 陶瓷 坩埚 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种新型多晶铸锭用石英陶瓷坩埚的制备工艺，其特征在于包括以下步骤：（1）按照常规工艺制作石英陶瓷裸埚，将石英陶瓷裸埚置于加热器上进行加热； （2）将氢氧化钡粉末溶解于纯水或无水乙醇中，加热使其完全融化制得氢氧化钡溶液；（3）当石英陶瓷裸埚被加热至50‑60℃时，将制备好的氢氧化钡溶液均匀的喷涂于石英陶瓷裸埚内底部和四壁，喷涂完后得到具有氢氧化钡涂层的石英陶瓷坩埚；（4）配置氮化硅悬浮液； （5）将配置好的氮化硅悬浮液均匀的喷涂在具有氢氧化钡涂层的石英陶瓷坩埚内底部和四壁即得。
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