[发明专利]磁传感装置及其磁感应方法、磁传感装置的制备工艺

摘要

本发明揭示了一种磁传感装置及其磁感应方法、磁传感装置的制备工艺，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括基底、介质材料层、第一导磁单元、第二导磁单元、感应单元。基底的第一表面开有第一沟槽；第一导磁单元的主体部分设置于第一沟槽内；第二导磁单元设置于介质材料层内；感应单元设置于基底的第一表面、介质材料层第二表面之间，位于第一导磁单元、第二导磁单元之间，接收第一导磁单元、第二导磁单元输出的第三方向的磁信号，并以此测量出第三方向对应的磁场强度及磁场方向。本发明在单一的圆晶/芯片上同时具有Ｘ、Ｙ和Ｚ三轴方向的传感单元，同时可以有效提高感应精度。

主权项

一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括垂直方向磁传感部件，该垂直方向磁传感部件包括：‑基底，其上表面开有第一沟槽；第一沟槽深0.5‑5微米；‑介质材料层，设置于所述基底上方；‑第一导磁单元，含有磁材料层，其主体部分设置于第一沟槽内，并有部分露出第一沟槽至基底的上表面，用以收集垂直方向的磁场信号，并将该磁场信号输出；‑第二导磁单元，含有磁材料层，设置于介质材料层形成的第二沟槽内，第二沟槽深0.5‑5微米，并有部分第二导磁单元露出第二沟槽至设置于介质材料层的下表面，用以收集垂直方向的磁场信号，并将该磁场信号输出；‑感应单元，所述感应单元是感应与基底表面平行方向的磁传感器，设置于所述基底的上表面、介质材料层下表面之间，含有磁材料层，用以接收所述第一导磁单元、第二导磁单元输出的垂直方向的磁信号，并根据该磁信号测量出垂直方向对应的磁场强度及磁场方向；所述垂直方向为基底表面的垂直方向；所述磁传感装置还包括第二传感器,第三磁传感器，用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向的磁信号，第一方向、第二方向相互垂直。