[发明专利]一种光电陶瓷驱动的微镜微调节装置

摘要

本发明公开了一种光电陶瓷驱动的微镜微调装置，包括粗动台、X方向位移微调节机构、Y方向位移微调节机构、俯仰调节机构和反射镜。粗动台、X方向位移微调节平台和Y方向位移微调节平台叠加在一起，反射镜俯仰调节机构位于X方向位移微调节平台上。Y方向光电陶瓷致动器在紫外光源照射下产生驱动力，通过位移放大机构推动Y方向位移微调节平台进行Y方向上的微调节；同理，X方向光电陶瓷致动器推动X方向位移微调节平台进行X方向上的微调节，其中，滚动导轨做为导向机构；光电陶瓷俯仰致动器在紫外光源的照射下产生驱动力，通过三角形放大机构推动反射镜俯仰转动。本发明结构简单紧凑，可以实现光控非接触式控制，且可避免电磁干扰。

主权项

一种光电陶瓷驱动的微镜微调节装置，其特征在于，包括X方向位移微调节平台[1]、俯仰调节机构[2]、Y方向位移微调节平台[3]、粗动台[4]、X方向光电陶瓷致动器[5]、X方向位移放大机构[6]、Y方向位移放大机构[7]、Y方向光电陶瓷致动器[8]、和滚动导轨；其中Y方向位移微调节平台[3]、Y方向位移放大机构[7]和Y方向光电陶瓷致动器[8]均设置在粗动台[4]上，Y方向位移微调节平台[3]与粗动台[4]之间设置滚动导轨，Y方向位移微调节平台[3]和Y方向位移放大机构[7]通过柔性铰链相连，Y方向位移放大机构[7]通过柔性铰链推动Y方向位移微调节平台[3]在滚动导轨上移动，Y方向位移放大机构[7]与Y方向光电陶瓷致动器[8]相连，Y方向位移放大机构[7]对Y方向光电陶瓷致动器[8]的驱动位移进行放大；Y方向位移微调节平台[3]上方设置X方向位移微调节平台[1]、X方向光电陶瓷致动器[5]和X方向位移放大机构[6]，Y方向位移微调节平台[3]和X方向位移微调节平台[1]之间设置滚动导轨，X方向位移放大机构[6]与X方向位移微调节平台[1]通过柔性铰链相连，X方向位移放大机构[6]通过柔性铰链推动X方向位移微调节平台[1]在滚动导轨上移动，X方向位移放大机构[6]与X方向光电陶瓷致动器[5]相连，X方向位移放大机构[6]对X方向光电陶瓷致动器[5]的驱动位移进行放大；X方向位移微调节平台[1]上设置俯仰调节机构[2]。