[发明专利]一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪

摘要

本发明涉及太赫兹光谱成像技术领域，尤其是涉及一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪。本发明所要解决的技术问题是：针对现有技术存在的问题，提供一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪，将太赫兹波远场成像的空间分辨能力提高到微米量级，提高太赫兹成像质量，拓展太赫兹成像技术的应用领域。本发明包括太赫兹发射器、激光产生装置、角度转换器、孔径成像装置、太赫兹探测器、锁相放大器等。本发明应用于太赫兹光谱成像技术领域。

主权项

一种太赫兹波远场探测超衍射分辨成像仪，其特征在于包括：太赫兹发射器，用于产生太赫兹波；激光产生装置，用于产生激光光束，并进行激光光束调制；角度转换器，用于调节激光光束入射角、太赫兹波入射角，使得激光光束入射角、太赫兹波入射角相同，并且激光光束、太赫兹波中心点重合；所述太赫兹波通过太赫兹发射器产生； 孔径成像装置，用于将通过角度转换器调节后的激光光束、太赫兹波，聚焦到孔径成像装置的测试窗口；实现对被测样品的成像，其中孔径成像装置通过二维扫描平移台移动； 太赫兹探测器，用于探测被测样品反射或透射的太赫兹波，并输出相应的电信号；锁相放大器，用于接收激光产生装置产生的参考信号，同时接收太赫兹探测器输出的电信号，进行信号提取及放大，得到被测样品信号，计算机接收锁相放大器输出信号并重构出被测样品图像。