[发明专利]微型转动扫描傅里叶变换光谱仪

摘要

这是一种转动扫描式傅里叶变换光谱仪，转动装置位于光路的一臂，光程补偿装置位于光路的另一臂，不需为转动装置提供额外的空间开销，可以使光谱仪体积缩小到半个手掌的大小。此外，光谱仪通过旋转角的改变可以实现很细微的光程差改变，通过最大旋转角、转动装置折射率等参数的设置可以实现光程差从纳米量级至毫米或厘米量级的改变。这种光谱仪最大特点为体积小，重量轻，扫描范围广，实用性高，是一种能够实现实时在线测量的便携式光谱仪。

主权项

一种微型转动扫描傅里叶变换光谱仪，主要由光阑、准直镜、分束器、转动装置、平面反射镜、光程补偿装置、会聚镜和光学探测器组成，通过转动装置[4]的旋转角改变来产生光程差，转动装置位于光路的一个分支中，由伺服电机驱动，旋转角的微小改变可以产生很精细的光程差改变，且转动角度与光程差接近线性，光程补偿装置[6]位于光路的另一个分支中，它的作用为补偿转动装置在旋转角度为零时所产生的光程差，补偿装置的光学材料与转动装置的光学材料相同，位置固定，不需要电机驱动。