[发明专利]一种硅片脱胶预冲洗装置在审
| 申请号： | 201310448760.4 | 申请日： | 2013-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103506333A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 刘耀峰;潘振东 | 申请（专利权）人： | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 214183 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅片脱胶预冲洗装置，所述硅片脱胶预冲洗装置包括板式换热器（3），所述板式换热器（3）上端两侧分别设有第一入口（2）和第二入口（4），第一入口（2）与铸锭炉冷却水（1）的出口（7）相连，第二入口（4）为冷水注入口，板式换热器（3）的下端设有板式换热器出口（5），与硅片预冲洗管道（8）连接，预冲洗口（6）设在硅片预冲洗管道8的另一端。应用本发明的硅片脱胶预冲洗装置，可以使硅片脱胶预冲洗进水水温固定在20℃-25℃，以适应硅片切割完的温度，减轻胶水冷热收缩的问题，提高了合格率并降低崩边比率。同时减少了冷却水机器的能耗，从而降低了铸锭及单晶在冷却水冷却上的能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 脱胶 冲洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片脱胶预冲洗装置，其特征在于：所述硅片脱胶预冲洗装置包括板式换热器（3），所述板式换热器（3）上端两侧分别设有第一入口（2）和第二入口（4），第一入口（2）与铸锭炉冷却水（1）的出口（7）相连，第二入口（4）为冷水注入口，板式换热器（3）的下端设有板式换热器出口（5），与硅片预冲洗管道（8）连接，预冲洗口（6）设在硅片预冲洗管道8的另一端。
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