[发明专利]一种基于氧化石墨烯的柔性阻变存储器及其制备方法无效
申请号: | 201310449101.2 | 申请日: | 2013-09-28 |
公开(公告)号: | CN103490009A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 孙清清;王鲁浩;王鹏飞;张卫;周鹏 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于半导体器件技术领域,具体为一种基于氧化石墨烯的柔性阻变存储器及其制备方法。本发明包括透明的柔性衬底和衬底上的三层结构器件单元,器件单元的底层为柔性透明电极,最上层电极可以采用金属或者其他电极,中间功能层是氧化石墨烯薄膜。实验证明氧化石墨烯具有良好的阻变特性,可以在室温下进行旋涂形成阻变存储器的功能层,避免了生长其他功能层材料所需要的高温工艺,得到的柔性阻变存储器可以应用于柔性电子器件中。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 氧化 石墨 柔性 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种基于氧化石墨烯的柔性阻变存储器,其特征在于包括:由柔性材料组成的衬底;位于柔性衬底上的下电极;位于衬底、下电极之上的氧化石墨烯阻变功能层;位于上述结构之上的上电极。
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