[发明专利]防腐蚀剂组合物及其在抗蚀膜剥离过程中的应用在审
| 申请号： | 201310452597.9 | 申请日： | 2013-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103543616A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 刘超 | 申请（专利权）人： | 刘超 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266033 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于抗蚀膜剥离的防腐蚀剂组合物，其特征在于：包括氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑和ω，ω′-双(苯并咪唑-2-基)烷烃。采用其的抗蚀膜剥离剂在剥离用于布图电子电路或显示元件金属布线的抗蚀膜的过程中，不腐蚀金属布线，特别是不腐蚀铝(aluminum)、钼(molybdenum)、铜(copper)、钛(titanium)等金属，且具有优秀的抗蚀膜剥离性的抗蚀膜剥离剂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀剂 组合 及其 抗蚀膜 剥离 过程 中的 应用 | ||
【主权项】：
一种用于抗蚀膜剥离的防腐蚀剂组合物，其特征在于：包括氯化1‑羟乙基‑3‑十六烷基咪唑和ω，ω′‑双(苯并咪唑‑2‑基)烷烃。
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