[发明专利]齿条-小齿轮机构及真空处理装置

摘要

本发明提供齿条-小齿轮机构及真空处理装置。以简单的机构避免由于齿条和小齿轮的相位错位而引起齿尖彼此碰撞，从而使齿条和小齿轮顺畅地啮合。齿条-小齿轮机构设有固定于载置台的齿条和连结于驱动源的多个小齿轮，所述载置台用于搭载被搬运物并在搬运轨道上移动，这些小齿轮中，至少两个小齿轮同步旋转而依次与齿条啮合，由此将齿条从当前工序的小齿轮向下一工序的小齿轮交接而将其搬运，该齿条-小齿轮机构具有：用于检测小齿轮的相位差值的部件；该齿条-小齿轮机构具有控制装置，该控制装置具有用于存储检测部件所检测到的小齿轮的相位差值的存储部，该控制装置基于当前工序的小齿轮的相位差值，对下一工序的小齿轮的相位差值进行控制。

主权项

一种齿条‑小齿轮机构，该齿条‑小齿轮机构具有：载置台，其用于搭载被搬运物，能够配置在搬运轨道上；齿条，其固定于上述载置台；当前工序的小齿轮，其用于与所述齿条啮合而向前进方向搬运所述载置台；下一工序的小齿轮，其设于所述当前工序的小齿轮的所述前进方向上，并用于与所述齿条啮合而向所述前进方向搬运载置台；以及控制装置，其特征在于，所述控制装置进行如下控制：当用所述当前工序的小齿轮从开始与所述齿条啮合时到啮合结束时为止旋转角除以所述当前工序的小齿轮的1个齿角算出的余数角度大于所述1个齿角的1/2的情况下，使所述下一工序的小齿轮从所述基准点向前进方向转动以1个齿角减去余数角度所得到的角度，在所述余数角度小于所述1个齿角的1/2的情况下，使所述下一工序的小齿轮从所述基准点向前进方向的相反方向旋转所述余数角度的角度。