[发明专利]一种梳齿结构的微机电磁场传感器

摘要

本发明公开了一种梳齿结构的微机电磁场传感器，包括硅衬底、二氧化硅层、多晶硅层和氮化硅层，多晶硅层的中部设有梳齿梁，氮化硅层顶面四周设有锚区，梳齿梁的根部与锚区的一边固定连接，梳齿梁的顶部为第一梳齿，锚区的另一边中设有第二梳齿，第一梳齿和第二梳齿相互交叉配合，形成梳齿电容的两极；梳齿梁上表面布设有驱动金属线；锚区上设有电容上极板焊盘、电容底电极焊盘和驱动金属线焊盘；氮化硅层中设有第一通孔和第二通孔；梳齿梁通过第一通孔与电容上极板焊盘连接，构成电容上电极；多晶硅层通过第二通孔与电容底电极焊盘连接，构成电容底电极；多晶硅层中设有凹槽。该传感器可以测量磁场幅度，灵敏度高。

主权项

一种梳齿结构的微机电磁场传感器，其特征在于，该磁场传感器包括从下向上依次叠加设置的硅衬底（13）、二氧化硅层（12）、多晶硅层（11）和氮化硅层（10），二氧化硅层（12）的中部和多晶硅层（11）的中部均为空心，多晶硅层（11）的中部设有梳齿梁（1），梳齿梁（1）由多晶硅和氮化硅制成，氮化硅层（10）顶面四周设有锚区（3），梳齿梁（1）的根部与锚区（3）的一边固定连接，梳齿梁（1）的顶部为第一梳齿（7），锚区（3）的另一边设有第二梳齿（8），第一梳齿（7）和第二梳齿（8）相互交叉配合，形成梳齿电容的两极；梳齿梁（1）处于悬空状态；梳齿梁（1）上表面布设有驱动金属线（2）；锚区（3）上设有电容上极板焊盘（5）、电容底电极焊盘（6）和驱动金属线焊盘（4）；氮化硅层（10）中设有带有金属柱的第一通孔（14）和带有金属柱的第二通孔（15）；梳齿梁（1）通过第一通孔（14）与电容上极板焊盘（5）连接，构成电容上电极；多晶硅层（11）通过第二通孔（15）与电容底电极焊盘（6）连接，构成电容底电极；多晶硅层（11）中设有凹槽（9）。