[发明专利]一种调整硅棒晶向偏离度的装置在审
申请号: | 201310457542.7 | 申请日: | 2013-09-30 |
公开(公告)号: | CN103552166A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 裴保齐;王振国;蒋建国 | 申请(专利权)人: | 洛阳鸿泰半导体有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D5/04 |
代理公司: | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人: | 陆君 |
地址: | 471000 河南省洛阳市高新*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种调整硅棒晶向偏离度的装置,涉及多晶硅设备领域,由支撑机构和旋转机构组成,通过在底板(4)的两端设置挡板(3),并在两块挡板(3)之间设置辊子(2),以此来达到调节硅棒晶向的目的;本发明实用性强,安装和维护均比较方便,操作起来也比较方便,有效解决了多线切割机无法调节硅棒(1)晶向的问题,极大方便了后续的加工和使用,满足了客户的要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 调整 硅棒晶 偏离 装置 | ||
【主权项】:
一种调整硅棒晶向偏离度的装置,包括支撑机构和旋转机构,支撑机构由挡板(3)和底板(4)构成,旋转机构由辊子(2)构成,其特征是:在底板(4)的两端分别设有一块挡板(3),两块挡板(3)呈对称结构设置在底板(4)两端,在两块挡板(3)之间设有辊子(2)。
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