[发明专利]一种Zigbee的红外线传感器制作方法

摘要

本发明公开一种Zigbee的红外线传感器，由红外线传感器电路、信号采集电路、Zigbee模块、天线、主机和电源模块组成，所述红外线传感器电路与信号采集电路相连，所述信号采集电路与Zigbee模块相连，所述Zigbee模块通过天线与主机相连，所述电源模块分别与红外线传感器电路、信号采集电路和Zigbee模块相连。该红外线传感器具有能检测是否有人入侵，且减少家庭布线，抗干扰能力强的特点。

主权项

一种Zigbee的红外线传感器制作方法，其特征在于，按照如下步骤进行：（1）提供衬底；（2）在所述衬底中细加工形成多个凹槽，在所述凹槽内填充第一释放牺牲层，在所述衬底表面覆盖膜片；（3）在所述膜片上形成下部电极；（4）进行气相释放工艺去除第一释放牺牲层；（5）在所述膜片和下部电极上形成热电层；（6）在基片上表面上形成红外结构吸收层，在该基片中局部地形成多个像素，在该红外结构吸收层的形成步骤中，沉积一种胶质微粒的分散体，从而形成一种覆盖于所述基片的吸收层，所述吸收层在热电层的上面；（7）然后去除部分所述吸收层以便形成多个基本吸收区，它们分别与所述多个像素连接。