[发明专利]形成磁性材料的方法以及由此形成的制品有效
申请号: | 201310459951.0 | 申请日: | 2013-09-27 |
公开(公告)号: | CN103715351A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | S·萨胡;M·朱;M·C·考茨基 | 申请(专利权)人: | 希捷科技有限公司 |
主分类号: | H01L43/12 | 分类号: | H01L43/12;H01F41/22 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 钱慰民 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本申请公开形成磁性材料的方法以及由此形成的制品。在衬底上形成磁性材料层的方法,该方法包括:将衬底配置在腔内;将衬底的温度控制在一衬底温度下,该衬底温度等于或低于大约250℃;以及将一种或多种前体引入腔内,该一种或多种前体包括:钴(Co)、镍(Ni)、铁(Fe)或其组合,其中前体在衬底温度下化学地分解,并且磁性材料层被形成在衬底上,该磁性材料包括一种或多种前体的至少一部分,并且该磁性材料具有至少约1特斯拉(T)的磁通密度。 | ||
搜索关键词: | 形成 磁性材料 方法 以及 由此 制品 | ||
【主权项】:
一种在衬底上形成磁性材料层的方法,所述方法包括:将衬底配置在腔内;将所述衬底的温度控制在衬底温度下,所述衬底温度等于或低于约250℃;以及将一种或多种前体引入所述腔内,所述一种或多种前体包括:钴(Co)、镍(Ni)、铁(Fe)或其组合,其中所述前体在所述衬底温度下化学地分解,以及其中磁性材料的层被形成在所述衬底上,所述磁性材料包括所述一种或多种前体的至少一部分,并且所述磁性材料具有至少约1特斯拉(T)的磁通密度。
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