[发明专利]一种电容式温度传感器有效
| 申请号： | 201310462930.4 | 申请日： | 2013-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN103471740A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 任青颖;王立峰;黄见秋;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01K7/34 | 分类号： | G01K7/34 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211103 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种电容式温度传感器，该传感器包括衬底（1）、感温介质（2）、钝化层（3）、中间叉指电极（1-3）、边叉指电极（1-2）构成的检测电容；所述的检测电容具有高深宽比的叉指结构，其中，衬底（1）位于检测电容的底部，起基座作用，中间叉指电极（1-3）与衬底之间设有感温介质（2），边叉指电极（1-2）处于所述检测电容的外部的四周，在中间叉指电极（1-3）的周边、边叉指电极（1-2）的内表面上表面设有钝化层（3）；感温介质（2）处于中间叉指电极（1-3）之间、边叉指电极（1-2）与中间叉指电极（1-3）之间、以及中间叉指电极（1-3）与衬底（1）之间的空腔（4）之中。该电容式温度传感器具有灵敏度高，结构简单，加工方便，感温结构新颖等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 温度传感器 | ||
【主权项】：
一种电容式温度传感器，其特征在于，该传感器包括衬底（1）、感温介质（2）、钝化层（3）、中间叉指电极（1‑3）、边叉指电极（1‑2）构成的检测电容；所述的检测电容具有高深宽比的叉指结构，其中，衬底（1）位于检测电容的底部，起基座作用，中间叉指电极（1‑3）与衬底之间设有感温介质（2），边叉指电极（1‑2）处于所述检测电容的外部的四周，在中间叉指电极（1‑3）的周边、边叉指电极（1‑2）的内表面上表面设有钝化层（3）；感温介质（2）处于中间叉指电极（1‑3）之间、边叉指电极（1‑2）与中间叉指电极（1‑3）之间、以及中间叉指电极（1‑3）与衬底（1）之间的空腔（4）之中。
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