[发明专利]电容式MEMS压力传感器

摘要

一种电容式MEMS压力传感器，由于将检测薄膜和电容上下电极分开，而不是作为其中之一，器件工作时，外界工作介质与检测薄膜接触，压迫检测薄膜，带动检测电极下极板动作，改变了上下电极极板间间距，产生电容变化，进而由引线引出至外接电容检测电路，由侦测电容的改变量得出上下电极极板间间距的变化，进而换算成工作介质的压力数值。由于上下电极不再受力变形，其有效面积基本恒定，电容值由间距决定，同时检测薄膜和检测电容的面积可分开调节，在设计器件时在规定的器件参数下可以更加灵活的调整器件尺寸，以降低成本。本发明也从器件结构上回避了传统压力传感器中为提高灵敏度而调整薄膜尺寸所引入的非线性以及动态响应范围改变的问题。

主权项

电容式MEMS压力传感器，其特征在于,包括：衬底；检测薄膜，固定铺设于所述衬底的上表面上；所述衬底上设有使检测薄膜与外界工作介质接触并承受其压力的通孔或沟槽；具有引线的上电极板，其固定连接于所述衬底的上表面上或所述检测薄膜上，并位于所述检测薄膜上方且与所述检测薄膜之间形成间隙；具有引线的下电极板，其固定设置于所述检测薄膜上，并位于所述检测薄膜与所述上电极板之间的间隙中，所述下电极板与所述上电极板构成电容。