[发明专利]用于光刻机镜头的远心测量装置及方法有效
| 申请号： | 201310463553.6 | 申请日： | 2013-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN104516210A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 束奇伟;葛亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于光刻机镜头的远心测量装置，其特征在于，包括：一光学散射器件，用于将所述光刻机的照明装置的出射光散射为各角度均匀出射的散射光；一针孔标记，所述针孔标记位于所述镜头的物方视场内；一能量传感器，用于测量所述针孔标记成像的中心位置。本发明还公开一种用于光刻机镜头的远心测量装置的测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 镜头 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机镜头的远心测量装置，其特征在于，包括：一光学散射器件，用于将所述光刻机的照明装置的出射光散射为各角度均匀出射的散射光；一针孔标记，所述针孔标记位于所述镜头的物方视场内；一能量传感器，用于测量所述针孔标记成像的中心位置。
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