[发明专利]衬底分离装置和使用衬底分离装置的衬底分离方法有效
| 申请号： | 201310463783.2 | 申请日： | 2013-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN104275555B | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 赵庚石;金俊亨;韩圭完;柳济吉 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/57 | 分类号： | B23K26/57;B23K26/402;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人： | 余朦,杨莘 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了衬底分离装置和衬底分离方法。根据本发明的一方面，提供了一种衬底分离装置，该装置包括激光照射器、激光分光器和方向变换器，其中激光照射器沿第一方向照射第一激光束，激光分光器将第一激光束分成沿第一方向行进的第二激光束和沿不同于第一方向的第二方向行进的第三激光束，方向变换器改变第二激光束或第三激光束的方向。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 分离 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种衬底分离装置，用于分离包括第一衬底和附接至所述第一衬底的第二衬底的衬底组件，所述衬底分离装置包括：激光照射器，沿第一方向照射第一激光束；激光分光器，将所述第一激光束分成沿第一方向行进的第二激光束和沿不同于所述第一方向的第二方向行进的第三激光束；以及方向变换器，改变所述第二激光束或所述第三激光束的方向；其中，所述第二激光束和所述第三激光束具有不同的焦深；其中，所述第一衬底包括与所述第二衬底相邻的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面；其中，所述第二激光束照射至所述第一表面以分离所述第一衬底和所述第二衬底；以及其中，所述第三激光束照射至所述第二表面以清洁所述第二表面。
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