[发明专利]数字微镜器件的形成方法

摘要

一种数字微镜器件的形成方法，包括提供形成有微镜器件控制电路的基底；在基底上形成第一牺牲层；在第一牺牲层上形成导电材料层、位于导电材料层上的介质材料层、及位于介质材料层上的图形化光刻胶层；以图形化光刻胶层为掩模，对介质材料层及导电材料层进行干法刻蚀，以形成铰链；形成铰链之后，利用湿法刻蚀方法去除部分图形化光刻胶层；对图形化光刻胶层的剩余部分进行各向异性的干法刻蚀。在保证整个图形化光刻胶层被干净去除的同时，既不会腐蚀铰链下方的第一牺牲层、以致不会出现铰链倒塌的问题，又能保护铰链中的介质层不被刻蚀，还减轻了基底受到的等离子体损伤。

主权项

一种数字微镜器件的形成方法，其特征在于，包括：提供形成有数字微镜器件控制电路的基底；在所述基底上形成第一牺牲层；在所述第一牺牲层上形成导电材料层、位于所述导电材料层上的介质材料层、及位于所述介质材料层上的图形化光刻胶层；以所述图形化光刻胶层为掩模，对所述介质材料层及导电材料层进行干法刻蚀，以形成铰链；形成所述铰链之后，利用湿法刻蚀方法去除部分所述图形化光刻胶层；对所述图形化光刻胶层的剩余部分进行各向异性的干法刻蚀；其中，所述图形化光刻胶层的厚度为12600至15400埃；所述图形化光刻胶层的剩余部分厚度为300至400埃。