[发明专利]一种双腔式电致动无阀微泵

摘要

一种双腔式电致动无阀微泵，包括驱动膜和微泵；微泵分为泵体和泵盖；泵体分为上泵体（2）和下泵体（1）；上泵体（2）和下泵体（1）的左右两端均开有进口腔和出口腔，进口腔和出口腔之间为上泵腔（9）和下泵腔（18），上泵腔（9）和下泵腔（18）相对。泵盖分为上泵盖（3）、中泵盖（13）和下泵盖（15）；上泵体（2）位于上泵盖（3）和中泵盖（13）之间，下泵体（1）位于中泵盖（13）和下泵盖（15）之间；上泵腔（9）和下泵腔（18）通过收缩流道和扩散流道与出口腔和进口腔连通；上泵体（2）的进口腔和下泵体（1）的出口腔通过中层小孔（14）相互连通；三块驱动膜分别覆盖上泵盖（3）、中泵盖（13）和下泵盖（15）上的大孔。

主权项

一种双腔式电致动无阀微泵，其特征在于：所述的微泵包括驱动膜和微泵两部分；所述的微泵分为泵体和泵盖；所述的泵体分为上泵体（2）和下泵体（1）；上泵体（2）和下泵体（1）的左右两端均开有进口腔和出口腔，进口腔和出口腔之间为上泵腔（9）和下泵腔（18），上泵腔（9）和下泵腔（18）相对；所述的泵盖分为上泵盖（3）、中泵盖（13）和下泵盖（15）；上泵体（2）位于上泵盖（3）和中泵盖（13）之间，下泵体（1）位于中泵盖（13）和下泵盖（15）之间；上泵腔（9）和下泵腔（18）通过收缩流道和扩散流道与出口腔和进口腔连通；上泵盖（3）上开有出口小孔（4），中泵盖（13）上开有中层小孔（14），下泵盖（15）上开有进口小孔（24）；上泵体（2）的进口腔和下泵体（1）的出口腔通过中泵盖（3）上的中层小孔（14）相互连通；在上泵盖（3）、中泵盖（13）和下泵盖（15）上还开有大孔，三块驱动膜分别覆盖上泵盖（3）、中泵盖（13）和下泵盖（15）上的大孔。