[发明专利]一种碳化硅晶须的制作方法无效
| 申请号： | 201310466998.X | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103556212A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 栾晓明 | 申请（专利权）人： | 栾晓明 |
| 主分类号： | C30B1/10 | 分类号： | C30B1/10;C30B29/62;C30B29/36 |
| 代理公司： | 沈阳利泰专利商标代理有限公司 21209 | 代理人： | 史进斗 |
| 地址： | 116200 辽宁省大连市普*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种碳化硅晶须的制作方法，该方法包括下列步骤：步骤一，将石墨及其他碳质原料与硅质原料粉碎充分混合，其碳质原料与硅质原料重量比为1:2；步骤二，将步骤一的混合原料装在有充氮气的真空感应炉以15~20℃∕分钟升温，在1300~1700℃保温2~5小时，自然冷却得碳化硅晶须；步骤三，将制作好的碳化硅晶须出炉纯化处理。本发明具有生产工艺简单，生产成本低，晶须质量好，可批量生产的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 制作方法 | ||
【主权项】：
一种碳化硅晶须的制作方法，其特征在于包括下列步骤：步骤一，将石墨及其他碳质原料与硅质原料粉碎充分混合，其碳质原料与硅质原料重量比为1:2；步骤二，将步骤一的混合原料装在有充氮气的真空感应炉以15~20℃∕分钟升温，在1300~1700℃保温2~5小时，自然冷却得碳化硅晶须；步骤三，将制作好的碳化硅晶须出炉纯化处理。
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