[发明专利]一种高效铸锭的诱导长晶工艺有效
申请号: | 201310467019.2 | 申请日: | 2013-10-09 |
公开(公告)号: | CN103510157A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 李鹏廷;王峰;任世强;熊华江;谭毅;姜大川;黄佳琪;邵伟;刘燕 | 申请(专利权)人: | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
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地址: | 266234 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于多晶硅铸锭领域,特别涉及一种高效铸锭的诱导长晶工艺。包括装料抽真空、加热熔化、诱导长晶、退火冷却,装料时,首先在方形石英坩埚底部平铺一层半圆柱状的单晶硅硅料,单晶硅硅料的矩形平面紧贴坩埚底上表面,且相邻单晶硅硅料紧密排布;方形石英坩埚内壁贴壁放置平滑的方形多晶硅硅料,贴满整个坩埚内壁,且保证方形多晶硅硅料之间没有间隙;在其余位置填充多晶硅碎料,最后上层放置方形多晶硅硅料;在熔化过程中,保证方形石英坩埚底部单晶硅硅料的温度低于1380℃。采用该工艺方法,通过半圆柱形单晶硅硅料诱导晶体长晶从而实现高效铸锭,使光电转换效率提高0.1%,节约生产成本5%以上。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 铸锭 诱导 工艺 | ||
【主权项】:
一种高效铸锭的诱导长晶工艺,包括装料抽真空、加热熔化、诱导长晶、退火冷却,其特征在于装料时,首先在方形石英坩埚底部平铺一层半圆柱状的单晶硅硅料,单晶硅硅料的矩形平面紧贴坩埚底上表面,且相邻单晶硅硅料紧密排布;方形石英坩埚内壁贴壁放置平滑的方形多晶硅硅料,贴满整个坩埚内壁,且保证方形多晶硅硅料之间没有间隙;在其余位置填充多晶硅碎料,最后上层放置方形多晶硅硅料;在熔化过程中,保证方形石英坩埚底部单晶硅硅料的温度低于1380℃。
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