[发明专利]一种核聚变装置的移动式射频辉光电极在审

专利信息
申请号: 201310467028.1 申请日: 2013-10-09
公开(公告)号: CN104576276A 公开(公告)日: 2015-04-29
发明(设计)人: 蔡潇;曹曾;黄向玫;崔成和 申请(专利权)人: 核工业西南物理研究院
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32;H01J37/04
代理公司: 核工业专利中心 11007 代理人: 高尚梅
地址: 610041 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明属于一种核聚变装置真空室器壁处理装置,具体涉及一种核聚变装置的移动式射频辉光电极,它包括螺旋式射频电极、伸缩驱动机构,伸缩驱动机构上设有螺旋式射频电极。其优点是,射频电极采用碟形波纹管运动机构进行驱动,可根据实验要求方便快速调整电极位置。螺旋式结构电极工作在高频交变电场作用下,增加了电子与气体分子发生碰撞的几率增加,对清除真空室器壁表面的低质量数杂质效率更高。电极冷却采用了水冷结构,降低了电极因长时间使用发生变形的几率。提高了该系统运行的安全性。
搜索关键词: 一种 聚变 装置 移动式 射频 辉光 电极
【主权项】:
一种核聚变装置的移动式射频辉光电极,其特征在于:它包括螺旋式射频电极(1)、伸缩驱动机构,伸缩驱动机构上设有螺旋式射频电极(1)。 
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