[发明专利]一种提高蓝宝石衬底片表面质量和产品良率的加工方法有效
| 申请号： | 201310467696.4 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103495928A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 杜彦召 | 申请（专利权）人： | 广东赛翡蓝宝石科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为 |
| 地址： | 514779 广东省梅州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高蓝宝石衬底片表面质量和产品良率的加工方法；属于蓝宝石加工工艺技术领域；其技术要点包括下述步骤：（1）机械快速粗磨；（2）干法化学蚀刻去应力；（3）机械精磨；（4）干法化学蚀刻提高平整；（5）机械抛光。本发明旨在提供一种工艺合理、生产效率高且可有效降低碎片率的提高蓝宝石衬底片表面质量和产品良率的加工方法；用于衬底片的表面处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 蓝宝石 衬底 表面 质量 产品 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种提高蓝宝石衬底片表面质量和产品良率的加工方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：（1）机械快速粗磨，将清洗干净的衬底片摆放入研磨设备进行研磨，研磨去除量为90～110μm，研磨后的衬底片通过超声波进行清洗；（2）干法化学蚀刻去应力，将清洗后的衬底片进行烘干，烘干后放入干法蚀刻机内，抽真空后通入蚀刻气体和辅助气体，其中，蚀刻气体为卤素气体，流量为50～300sccm，辅助气体为氩气或氮气，流量为5～90sccm，蚀刻时间为2～5分钟，蚀刻完毕后将衬底片进行清洗烘干；（3）机械精磨，将烘干后的衬底片摆放入研磨设备进行研磨，研磨去除量为5～10μm，研磨后的衬底片通过超声波进行清洗；（4）干法化学蚀刻提高平整，将清洗后的衬底片进行烘干，烘干后放入干法蚀刻机内，抽真空后通入蚀刻气体和辅助气体，其中，蚀刻气体为卤素气体，流量为50～200sccm，辅助气体为氩气或氮气，流量为5～90sccm，蚀刻时间为2～5分钟，蚀刻完毕后将衬底片进行清洗烘干；（5）机械抛光，将烘干的衬底片放入研磨设备中研磨，研磨去除量为30～50μm。
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