[发明专利]一种柔性衬底上纳米半导体多孔电极材料的烧结方法

摘要

本发明公开了一种柔性衬底上纳米半导体多孔电极材料的烧结方法，包括在柔性衬底上镀有透明导电薄膜，在透明导电薄膜上均匀涂覆纳米半导体颗粒浆，用手工或机械压制，形成纳米半导体薄膜；选择超短脉冲激光作为激光源，调节激光光路，通过物镜聚焦在纳米半导体薄膜适当深度内；当超短脉冲激光的强度大于等于多光子吸收阈值时，纳米半导体薄膜发生多光子吸收电离，价带电子跃迁到导带，晶格发生弱化；纳米半导体薄膜表面发生熔化，相邻的纳米半导体颗粒连接在一起；随着超短脉冲激光焦点在整个纳米半导体薄膜上的扫描，把所有纳米半导体颗粒连接起来，形成网络即实现了烧结。本发明提高了纳米半导体多孔薄膜电极的烧结质量，避免了对柔性衬底本身性能的影响。

主权项

一种柔性衬底上纳米半导体多孔电极材料的烧结方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：在柔性衬底上镀有透明导电薄膜，在导电薄膜上均匀涂覆纳米半导体颗粒浆，用手工或机械压制的方式，形成纳米半导体薄膜；选择一种可以透过纳米半导体薄膜的超短脉冲激光作为激光源，调节激光光路，使得超短脉冲激光通过物镜聚焦在纳米半导体薄膜适当深度内，使得焦点体积覆盖纳米半导体薄膜以及导电薄膜表面层；当超短脉冲激光的强度大于等于多光子吸收阈值时，纳米半导体薄膜发生多光子吸收电离，价带电子跃迁到导带，晶格发生弱化；纳米半导体薄膜表面发生熔化，相邻的纳米半导体颗粒连接在一起；随着超短脉冲激光焦点在整个纳米半导体薄膜上的扫描，把所有纳米半导体颗粒连接起来，形成网络即实现了烧结；所述柔性衬底的材料为高分子材料柔性衬底；所述导电薄膜的材料为透明半导体导电薄膜；所述超短脉冲激光为飞秒脉冲激光或皮秒脉冲激光。