[发明专利]基于分布式电磁铁的矩形平面阴极电弧靶有效
| 申请号： | 201310468970.X | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103469165A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 黄志宏;张早娣;付德君 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于分布式电磁线圈的矩形平面阴极电弧靶，包括矩形平面靶材本体及其背面布置的不少于2组的电磁铁组，各电磁铁组为与电源连接的、不少于2个的串联电磁铁。在电弧产生过程中，使各电磁铁组交替与电源导通，从而使得弧斑在靶材表面的路径加长，增加了靶材表面的有效冷却面积，并将材利用率从现有的30%提高至65%；同时，还可通过改变电流大小来改变磁场强弱，改变弧斑运行速度，也可提高靶材利用率，同时减少沉积于膜层中的液滴。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 分布式 电磁铁 矩形 平面 阴极 电弧 | ||
【主权项】：
基于分布式电磁线圈的矩形平面阴极电弧靶，其特征在于：包括矩形平面靶材本体及其背面布置的不少于2组的电磁铁组，各电磁铁组为与电源连接的、不少于2个的串联电磁铁。
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