[发明专利]提高CdS和CdSe纳米材料电导率和光电流的方法有效
申请号: | 201310470086.X | 申请日: | 2013-10-10 |
公开(公告)号: | CN103500703A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 张礼杰;朱大鸣;戴宁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | H01L21/263 | 分类号: | H01L21/263 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种提高CdS和CdSe纳米材料电导率和光电流的方法,它利用电子束辐照提高了CdS和CdSe低维纳米材料电导率和光电流。本发明的方法简单、可控,且所需的电子束能量低(0.2-30keV),用扫描电子显微镜即可实现。在高真空环境中(优于1×10-3Pa),利用该方法能极大幅度提高CdS和CdSe低维纳米材料的电导率(>105倍)和光电流(达5倍)。 | ||
搜索关键词: | 提高 cds cdse 纳米 材料 电导率 电流 方法 | ||
【主权项】:
一种提高CdS和CdSe纳米材料电导率和光电流的方法,其特征在于方法如下:把CdS和CdSe纳米线、带或片放入真空度优于1×10‑3Pa的真空系统中,用能量0.2‑30keV、束流大于30pA的电子束对所需处理的CdS和CdSe纳米线、带或片辐照30秒以上,关闭电子束,将辐照后的材料在真空系统中放置3小时以上使材料性能趋于稳定,此时被处理的纳米材料的电导率和光电流比辐照之前有大幅度的提高。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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