[发明专利]一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统及方法有效
| 申请号： | 201310470166.5 | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103529322A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 贾建军;杨明冬;张亮;钱锋;张明;白帅;王娟娟;梁延鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统及方法，用于测试压电陶瓷快速偏转镜频率响应，考察其动态位移特性。系统由频响分析仪和压电陶瓷控制器组成。首先由频响分析仪输出扫频信号，经压电陶瓷控制器放大后驱动压电陶瓷快速偏转镜偏转，然后频响分析仪检测压电陶瓷快速偏转镜上所贴应变片的电压，最后由频响分析仪通过比较输出的驱动电压和检测到的应变片电压，自动绘出压电陶瓷快速偏转镜的动态频率响应波特图。本系统将输出给压电陶瓷快速偏转镜的电压和应变片电压进行比较，利用频响分析仪得到压电陶瓷快速偏转镜的频率响应特性，结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 陶瓷 快速 偏转 动态 频率响应 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种压电陶瓷快速偏转镜动态频率响应测试系统，它包括：频响分析仪（1）和压电陶瓷控制器（2），其特征在于：所述的频响分析仪（1）是具有扫频功能的频响分析仪；所述的压电陶瓷控制器（2）是芯明天公司生产的XE501‑D压电陶瓷控制器。频响分析仪（1）输出与压电陶瓷控制器（2）控制信号输入端相连，压电陶瓷控制器（2）位置传感输出端与频响分析仪（1）输入相连，压电陶瓷控制器（2）高压输出与压电陶瓷快速偏转镜（3）相连，压电陶瓷控制器（2）位置传感输入端与应变片（4）相连。
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