[发明专利]用纳微柔性阵列实现接触时间延长的多向振动阈值传感器

摘要

本发明提供了一种用纳微柔性阵列实现接触时间延长的多向振动阈值传感器，其中：质量块电极分别与八组蛇形弹簧一端连接，弹簧另一端与弹簧支撑座相连接并将质量块悬空于垂直下固定电极和悬臂梁上固定电极之间，碳纳米纤维簇阵列结构分别分布在质量块的上表面和悬臂梁上固定电极的下表面，弹簧支撑座设置于绝缘衬底上并均匀的分布在质量块周围，放射状径向弹性水平固定电极一端连接在支撑柱上，支撑柱设置于质量块的中心并将放射状径向弹性水平固定电极悬空在质量块的上下表面之间，下固定电极固定在绝缘衬底上。此发明实现了多向振动阈值传感器可动电极和固定电极之间的柔性接触以及对±Z方向和水平360°方向上的加速度冲击反应敏感。

主权项

一种用纳微柔性阵列实现接触时间延长的多向振动阈值传感器，其特征在于包括：质量块电极、垂直下固定电极、悬臂梁上固定电极、碳纳米纤维簇阵列结构、蛇形弹簧、弹簧支撑座、多组悬臂梁组成的放射状径向弹性水平固定电极和上固定电极支撑柱，其中：质量块电极与八组蛇形弹簧的一端相连，蛇形弹簧另一端与弹簧支撑座相连并将质量块电极悬空于垂直下固定电极和悬臂梁上固定电极之间，悬臂梁上固定电极和放射状径向弹性水平固定电极固定在中间上固定电极支撑柱上，弹簧支撑座和上固定电极支撑柱分别固定设置于绝缘衬底上并分别位于质量块电极的四周和中间位置，由碳纳米管和铜组成的碳纳米纤维簇阵列结构均匀的分布在质量块电极的上表面和悬臂梁上固定电极的下表面或者仅占据悬臂梁上固定电极上表面及其所覆盖的质量块电极上表面位置，垂直下固定电极固定在绝缘衬底上。