[发明专利]带梯度层的太阳能吸收器层系统和制造它的方法及装置有效
| 申请号： | 201310473236.2 | 申请日： | 2013-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103726013A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 约尔格·法贝尔;埃克哈特·赖因霍尔德;霍尔格·普勒尔 | 申请（专利权）人： | 冯·阿德纳设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;H01L31/18;H01L31/055 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 车文;张建涛 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能吸收器层系统以及用于通过至少两个靶（9、10）的阴极溅射在基底上制造出梯度层的方法和用于在具有至少一个涂层隔间的真空涂层设备中沉积出太阳能吸收器层系统的梯度层的装置，基底经过靶并以具有分梯度的层被涂层。进行作为金属陶瓷梯度层的吸收层（32）的沉积，该吸收层具有金属的和陶瓷的成分，一种是基体而另一种是分布在该基体内的微粒。沉积由双靶实现，双靶的第一靶提供金属陶瓷的陶瓷的组成部分并且包括陶瓷的材料，而这个双靶的第二靶提供金属陶瓷的金属的组成部分，其中，金属靶作为主要组成部分包括金属成分的氧化物、氮化物或氮氧化物或这些金属成分的金属。 | ||
| 搜索关键词： | 梯度 太阳能 吸收 系统 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基底上的太阳能吸收器层系统，所述太阳能吸收器层系统从基底（1）向上具有在红外范围内高反射的底层（31）、在所述底层上的吸收层（32）和在所述吸收层上的反射提高的顶层（33），其中，吸收层（32）构造成梯度层，其特征在于，吸收层（32）构造成具有金属的和陶瓷的成分的金属陶瓷梯度层，在金属的和陶瓷的成分中的一个成分是基体而另一个成分是分布在所述基体内的微粒，其中，陶瓷成分具有接下来被称为ZAO的掺铝氧化锌作为主要组成部分。
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